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EH系列

: 品牌影響力
我們?yōu)樯a(chǎn)環(huán)境創(chuàng)造產(chǎn)品解決方案

: 完善的售后
我公司為客戶量身設(shè)計(jì)單臺(tái)真空設(shè)備和系統(tǒng)工程，并提供詳細(xì)的售前技術(shù)咨詢，售中技術(shù)支持，售后技術(shù)服務(wù)。

: 廣闊的業(yè)務(wù)范圍
有著諸多的合作業(yè)績(jī)和經(jīng)驗(yàn)

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產(chǎn)品介紹技術(shù)參數(shù) 性能特點(diǎn)

概述

防爆型機(jī)械增壓泵已經(jīng)過(guò)鑒定，可以在潛在易爆氣體環(huán)境中使用。
EH250C 機(jī)械增壓泵已經(jīng)過(guò)鑒定，可用于 CSA Division 1 區(qū)域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類(lèi)基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級(jí)壓力下保持的泵出氣口壓力。
防爆型機(jī)械增壓泵可能配備防爆型電機(jī)，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。請(qǐng)咨詢 Edwards。

技術(shù)數(shù)據(jù)

容積（工作容積）
50Hz	310 m3h-1/185 ft3min-1
60Hz	375 m3h-1/220 ft3min-1
使用后備泵時(shí)的有效抽取速度
E1M40 或 E2M40	240 m3h-1/141 ft3min-1
E1M80 或 E2M80	274 m3h-1/161 ft3min-1
泵的壓差
50Hz	0-180 mbar/0-140 Torr
60Hz	0-150 mbar/0-115 Torr
入口連接	ISO63
出口連接	ISO40
轉(zhuǎn)速 ?
50Hz	0-2900 rpm
60Hz	0-3500 rpm
連續(xù)入口操作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr
較大出口壓力	1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵	GV80，E1M/E2M40，E1M/E2M80
電源電壓，3 相
50Hz	220 – 240V/380 – 415V
60Hz	230V/460V
馬達(dá)功率
碳?xì)浠衔?/td>	2.2kW/3hp
PFPE	2.2kW/3hp
ATEX	2.2kW
防爆型	3 相
環(huán)境溫度范圍
操作	5 至 40°C/40 至 104°F
存儲(chǔ)	-10 至 80°C/14 至 176°F
較大操作濕度	90% RH
推薦用油
標(biāo)準(zhǔn)型	Ultragrade 20
PFPE 版本	Fomblin YVAC 16/6
油容量
聯(lián)結(jié)器箱	1.5 升/1.6 qt
軸桿封口儲(chǔ)油器	0.125 升
重量*	69 kg/152 lb

功能和優(yōu)勢(shì)

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
- 安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。
- 牢靠且防腐蝕。
- 先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護(hù)要求降到較低。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要較高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制程
- 真空蒸餾
- 真空包裝
- 鋼脫氣
- 薄膜覆層
- 真空冶金
- 低密度風(fēng)洞
- 空間模擬
- 真空浸漬
- 油干燥和脫氣
- 制藥冷凍干燥
- CO2 激光

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